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表面輪廓儀
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DEKTAK XT布魯克臺階儀/表面輪廓儀臺階儀主要用于材料表面的2D,3D測量,可以測試臺階高度,表面粗糙度;同時也適合材料表面溝槽深度的測試;能夠在微電子,半導體及化合物半導體,太陽能、超高亮度發光二極管(LED)、OLED、ITO、微流控、醫學、材料科學等行業實現納米級表面形貌測量。Dektak臺階儀測量薄膜材料可以達到埃級重現性和1nm-1mm的測量范圍。
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